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“董事長，浸沒原理雖然是我第一個公開提出來的，但bsec的鄧院士和錢所長帶領bsec光源研究所，在攻克光刻機光源波長193nm的世界性難題進行了近十年的潛心研究，在我之前就提出來以純淨水作為光源介質的研究新路徑，在國際光學和光刻機權威雜誌上發表了數十篇有影響力的論文，透過實驗論證了浸沒原理的可行性，在浸沒原理方面的研究成果遠遠走在了我們和asml的前面，我當時就預感，他們透過純淨水作為光源介質，已經攻克了193nm波長光源的世界性難題，研製成功了134nm波長光源的鐳射器。”

林本堅的面色發紅，雖然沒有有意抄襲bsec專利技術的企圖，但在研發的過程中，發現bsec不僅研發成功了浸沒式光學系統和浸沒式光刻機，還在世界專利局申請了9項技術專利，其中就包括以純淨水作為光源介質的專利技術，他的團隊和asml研究所只好硬著頭皮繼續沿著這條路徑研發下去，最後研究成功，還向世界專利局申請了發明專利，但按照專利技術申請的先後順序，就是侵犯了bsec的專利技術。

林本堅到如今也不理解，bsec為什麼當時不在gca

euv光刻機公司公開euv鐳射器之前，對外公佈攻克了193nm波長光源的世界性難題？

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